1 简介

真空泵是一种旋(xuan)转式(shi)变容真空泵须有(you)前级泵配合方可使用在较(jiao)宽的(de)压(ya)力(li)范(fan)围内有(you)较(jiao)大(da)的(de)抽(chou)速对(dui)被(bei)抽(chou)除气体中含有(you)灰(hui)尘和水蒸汽不敏感(gan)广泛(fan)用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行(xing)业。[1]

2 特点

(1)在较(jiao)宽的压力范(fan)围内有较(jiao)大的抽速(su)；

(2)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)具有良好的几(ji)何对称性，故振动小(xiao)，运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)平稳(wen)。转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)间及转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)和(he)壳体(ti)间均有间隙，不用润滑(hua)，摩擦损失小(xiao)，可(ke)(ke)大大降低(di)驱(qu)动功率，从而可(ke)(ke)实现较高(gao)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)速；

(3)泵腔内无需(xu)用(yong)油(you)密封和润滑(hua)，可减(jian)少油(you)蒸(zheng)气(qi)对真空系(xi)统的(de)污染；

(4)泵腔内无压(ya)缩(suo)，无排气阀。结构简单、紧凑(cou)，对被(bei)抽气体中的灰尘和水蒸汽不(bu)敏感；

(5)压缩比较低(di)，对氢气抽气效果差；

(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难(nan)。

3 结构

（1） 泵(beng)总体结构(gou)型式

真空泵的(de)泵体(ti)的(de)布置结构决定了泵的(de)总体(ti)结构。

立式结(jie)构的(de)进(jin)、排气口水平设置，装配(pei)和连接管路都比较方便。但泵的(de)重心较高，在高速运(yun)转时(shi)稳定性差，故这种型(xing)式多用于小泵。

卧式泵的(de)进(jin)气口(kou)(kou)在上，排(pai)气口(kou)(kou)在下。有时(shi)(shi)为了真空系(xi)统管(guan)道(dao)安(an)装(zhuang)连接方(fang)便(bian)，可(ke)将排(pai)气口(kou)(kou)从(cong)水平方(fang)向接出(chu)，即进(jin)、排(pai)气方(fang)向是(shi)相互垂直(zhi)的(de)。此(ci)(ci)时(shi)(shi)，排(pai)气口(kou)(kou)可(ke)以从(cong)左或(huo)右两个方(fang)向开口(kou)(kou)，除接排(pai)气管(guan)道(dao)一端外，另(ling)一端堵死或(huo)接旁(pang)通阀(fa)。这(zhei)种泵结构重(zhong)心低，高速运转时(shi)(shi)稳(wen)定性好。一般大(da)、中型泵多采用此(ci)(ci)种结构。

泵的两个转子(zi)(zi)轴与水(shui)平面垂直安装。这种结(jie)构(gou)装配间(jian)隙容易(yi)控(kong)制，转子(zi)(zi)装配方(fang)便，泵占地面积小。但泵重(zhong)心(xin)较高且齿轮拆(chai)装不(bu)便，润滑(hua)机构(gou)也(ye)相(xiang)对复杂。

（2） 泵(beng)的传动方式(shi)

真空(kong)泵的(de)(de)(de)两(liang)个转(zhuan)(zhuan)子(zi)是通(tong)(tong)过(guo)一(yi)(yi)(yi)对高精度齿(chi)(chi)(chi)轮(lun)(lun)来实现其(qi)相(xiang)对同步运转(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)。主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)通(tong)(tong)过(guo)联轴(zhou)器与电机(ji)(ji)联接。在(zai)传(chuan)动(dong)结(jie)构(gou)布(bu)置上主(zhu)(zhu)(zhu)要有以下两(liang)种：其(qi)一(yi)(yi)(yi)是电动(dong)机(ji)(ji)与齿(chi)(chi)(chi)轮(lun)(lun)放在(zai)转(zhuan)(zhuan)子(zi)的(de)(de)(de)同一(yi)(yi)(yi)侧如图。从(cong)动(dong)转(zhuan)(zhuan)子(zi)由电动(dong)机(ji)(ji)端(duan)齿(chi)(chi)(chi)轮(lun)(lun)直接传(chuan)过(guo)去带动(dong)，这样主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)转(zhuan)(zhuan)子(zi)轴(zhou)的(de)(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)变(bian)形小，则两(liang)个转(zhuan)(zhuan)子(zi)之间的(de)(de)(de)间隙(xi)不会(hui)因主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)的(de)(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)变(bian)形大(da)而改变(bian)，故(gu)使转(zhuan)(zhuan)子(zi)之间的(de)(de)(de)间隙(xi)在(zai)运转(zhuan)(zhuan)过(guo)程中(zhong)均匀。这种传(chuan)动(dong)方式的(de)(de)(de)最大(da)缺点是：a.主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)上有三个轴(zhou)承，增(zeng)加(jia)了泵的(de)(de)(de)加(jia)工和装配难度，齿(chi)(chi)(chi)轮(lun)(lun)的(de)(de)(de)拆装及调整(zheng)也(ye)不便；b.整(zheng)体结(jie)构(gou)不匀称(cheng)，泵的(de)(de)(de)重心偏向电动(dong)机(ji)(ji)和齿(chi)(chi)(chi)轮(lun)(lun)箱一(yi)(yi)(yi)侧。

    极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)的(de)一(yi)个重要(yao)参数，是反应泵(beng)(beng)抽(chou)气(qi)(qi)能力的(de)特性(xing)值(zhi)(zhi)，是与(yu)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)相关的(de)一(yi)个数值(zhi)(zhi)，不(bu)同的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)可(ke)以有不(bu)同的(de)“极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度(du)。而“理论真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是理论研究时的(de)一(yi)个概念，是排除各种实际(ji)因素的(de)影响而提炼出的(de)一(yi)种最(zui)理想的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容器经充分抽(chou)气(qi)(qi)后，稳定(ding)在(zai)某(mou)一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)，此(ci)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)称(cheng)为极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容器须经12小时炼气(qi)(qi)，再(zai)经12小时抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最(zui)后一(yi)个小时每隔10分钟测量一(yi)次，取其10次的(de)平均值(zhi)(zhi)为极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值(zhi)(zhi)。